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氧氣濃度檢測儀在半導(dǎo)體制造過程中的重要性

發(fā)布時間:2024-12-18 點擊量:31

氧氣濃度檢測儀在半導(dǎo)體制造過程中的重要性

半導(dǎo)體行業(yè)是一個全球性的巨大行業(yè),每年都在持續(xù)增長,這意味著對高純度氣體的需求將隨之增長。


擁有可靠的高純度氣體供應(yīng)對于半導(dǎo)體制造至關(guān)重要,尤其是在智能手機和自動駕駛汽車等先進技術(shù)方面。
生產(chǎn)集成電路的過程很復(fù)雜,在所有階段都需要 30 多種不同的氣體,這使得使用的氣體范圍成為任何行業(yè)中廣泛的氣體之一。
氣體是半導(dǎo)體制造的重要組成部分,因為氣體可以產(chǎn)生塑造半導(dǎo)體電氣特性所需的化學(xué)反應(yīng)。由于其復(fù)雜性,在制造過程的每個階段使用的氣體都需要精確和準確,以正確配置半導(dǎo)體。


如您所知,氧氣是一種氧化劑,因此它對于產(chǎn)生沉積反應(yīng)至關(guān)重要。它用于生長用于工藝中各種元素的氧化硅層,例如擴散掩模。


當(dāng)使用氧氣進行半導(dǎo)體制造時,氣體必須是超高純度的,以防止任何雜質(zhì)影響器件的生產(chǎn)和性能。
在蝕刻過程中,氧氣也用于去除產(chǎn)生的任何額外材料廢料。它也可以用來使任何蝕刻圖案。
最后,氧氣還有助于通過可能改變產(chǎn)品質(zhì)量的氧化反應(yīng)中和反應(yīng)性氣體。因此,與氮氣類似,氧氣也有助于確保不會發(fā)生任何污染。

便攜式氧氣濃度計EZY系列

檢測部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計。 這是一個集成傳感器、控制單元、流量計、泵和過濾器。

image.png

特征

  • 1.與先前型號(TB-FI系列)相比重量減輕
    (EZY:4.3kg/先前型號:6.0kg)

  • 2.根據(jù)用途可選擇顏色變化(紅、綠、藍)

  • 3.平滑的溫度控制可實現(xiàn)穩(wěn)定的測量(減少波動)

  • 4.傳感器多層保護,耐腐蝕,使用壽命長(保修2年)

規(guī)格

模型EZY-1-GEZY-1-REZY-1-BEZY-2-GEZY-2-REZY-2-B
顏色綠色的紅色的藍色的綠色的紅色的藍色的
類型

無采樣泵

帶采樣泵

原則氧化鋯陶瓷電化學(xué)電池
作品SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計等。
測量范圍1ppm~100% O2
展示%: 0~99.99%O2 ppm   : 0~ 9999ppmO2
輸出4~20mADC(隔離) 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC(隔離,選其一)


RS-232C

繼電器接點:3點(A接點),集電極開路輸出:2點(以下可任意分配)

濃度報警:Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo(LCD 顯示)

傳感器異常(故障)報警:加熱器、RTD斷線(LCD顯示)

預(yù)熱完成信號

范圍回復(fù)

接點輸入遠程校準變送輸出(電壓/電流) 保持遠程量程切換
量程切換自動/手動/遠程

初始設(shè)置

0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
樣本吸取

樣品壓配合

內(nèi)置泵抽吸

樣品壓力

高達 2 個大氣壓

漂移線性重復(fù)性


響應(yīng)速度

管道連接

樣品流速

樣品溫度

預(yù)熱時間

電源

配件

±2%FS 以內(nèi)/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以內(nèi),以較大者為準 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以內(nèi),以較大者為準


10秒內(nèi)90%響應(yīng)(如果向高濃度側(cè)擺動)

RC1/4

0.2~2L/分鐘

最高60℃

約20分鐘

免費電源(85-260VAC)

電源線3m


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